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因此将废气以一般风车抽至---排放至---环境而不需处理。酸碱性排气:其主要来源于化学清洗工作站,清洗晶片时所产生之挥发性气体,此气体部分含有浓烟,风管,部分则对---有---性作用有害人体,故必须经过水洗中和处理,再由风机排入---。
排气:其主要来源于涂胶、显影工序和各工序使用清洗过程时所产生,需经有机废气处理设备处理后,再由风机排入---。
风机安装时按设计要求或施工规范要求设置减振装置。风机、螺旋风管相连接采用软管连接,风机吸入口处的软管安装要做到松紧适度,避免因软接过松减小进出风口面积,不锈钢风管,而引起噪声和振动。螺旋风管机械的漏风量测试螺旋风管安装完毕,需进行漏风量测试,依据规范规定,十堰风管,螺旋风管的漏风量检测采用漏光---性和漏风量测试定量检测相结合的方式,漏光法适合于中、低压系统的严密性检验;漏风量测试适合于中压系统的抽检和高压系统的悉数检测。
组装时应尽量调整风道的中心度和水平度,避免风管扭曲或上下起波,左右摆龙,每段风道不宜超过10m.组装时,垫片应垫平,法兰螺栓应均匀拧紧,螺母帽均朝向同一方向。
风管就位:风管就位前应检查全部支架的水乎度和标高、检查支架的牢固程度,风管就位可采用直接和吊具两种方法。对风管断面较小,又位置较低的可采用人工就位方法,只需搭设简易脚手架即可。当风管断面较大且管段较长时,可采用滑轮、倒链、大绳等方法吊装。
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